溫控器,顧名思義,就是測量并調控溫度的設備。它通過讀取溫度傳感器的測量數值,并通過計算機程序執行復雜智能的控制算法,利用連接的執行器件精確調節加熱器等負載的溫度。是工業生產、自動化產線上必不可少的核心配件。
而與普通PID溫控器不同,半導體生產設備中許多環節,比如擴散、氧化、刻蝕、PECVD等過程使用的串級溫控器需要高端復雜調節算法,以此來應對半導體設備中溫度控制滯后較大且擾動多等問題。作為溫控器應用的高端市場,半導體制造領域對溫控器的產品精度、可靠性、抗干擾性和穩定性要求均非??量?。
一位光伏制造業內人士指出,生產晶體硅太陽能電池的產線上,溫度控制更是堪比靈魂。比如擴散爐需要將爐內溫度按照一定升溫速率加熱到700℃-1040℃左右,并且要快速將溫度波動穩定在±0.5℃內,這對控溫的精準度、可靠性和穩定性有極致的苛刻要求,溫度一旦發生偏差,產品性能就會大打折扣甚至報廢。
超高的技術門檻使得能進入半導體領域的串級溫控器廠商屈指可數,以往只有日本AZBIL、英國PMA和美國WATLOW旗下EUROTHERM等少數品牌可以滿足要求。而宇電新推出的AI-8半導體設備專用串級溫控器去年成功進入光伏制造領域,成為目前唯一一家產品通過光伏半導體市場驗證的國產溫控器企業。